New Era of Semiconductor Manufacturing (Ⅲ) Breakthrough for Everlasting Prosperity of Semiconductor Industry--Proposal of very compact manufacturing system for 300 mm wafer from Tohoku University ULTRA CLEAN TECHNOLOGY Vol.10 Supplement 1, 1998
タイトルヨミ
New Era of Semiconductor Manufacturing (Ⅲ) Breakthrough for Everlasting Prosperity of Semiconductor Industry--Proposal of very compact manufacturing system for 300 mm wafer from Tohoku University ULTRA CLEAN TECHNOLOGY Vol.10 Supplement 1, 1998
製作者
UCS(Ultra Clean Society) Institute of Basic Semiconductor Technology Development
UCS(Ultra Clean Society) Institute of Basic Semiconductor Technology Development
年代
1998/99/99
出版地
仙台市
出版国
日本国
印刷・書写の別
印刷資料
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
本文の言語
英語
解説
備考
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]簡易利用申請書(Excel)｜http://www2.archives.tohoku.ac.jp/yoshiki/tokuteirekisi-kaniriyo.xls
画像有無
無
請求記号
工学／学会
所蔵部局名
史料館
コレクション名
学内刊行物
学内刊行物
レコードID
12030000007432
管理用項目
資料所蔵者
東北大学史料館
