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12030000007432

New Era of Semiconductor Manufacturing　(Ⅲ) Breakthrough for Everlasting Prosperity of Semiconductor Industry--Proposal of very compact manufacturing system for 300 mm wafer from Tohoku University　ULTRA CLEAN TECHNOLOGY Vol.10 Supplement 1, 1998

著者/制作者
UCS(Ultra Clean Society)　Institute of Basic Semiconductor Technology Development
/ UCS(Ultra Clean Society)　Institute of Basic Semiconductor Technology Development
年代
1998/99/99
出版地
仙台市
出版国
日本国
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
地理情報
日本国,宮城県,仙台市
本文の言語
英語
備考
  • [内容]
  • [種別]刊行物
  • [タイトルの記述レベル]書名
  • [現物の利用制限]全部公開
  • [現物利用申請書類]
画像有無 / 色
  • 無
コレクション
分類
所在
史料館閲覧室
請求記号
工学／学会
部局管理ID
SER2016-07445
レコードID
12030000007432
学内刊行物
東北大学で作成され刊行された資料です。