12030000007432
New Era of Semiconductor Manufacturing (Ⅲ) Breakthrough for Everlasting Prosperity of Semiconductor Industry--Proposal of very compact manufacturing system for 300 mm wafer from Tohoku University ULTRA CLEAN TECHNOLOGY Vol.10 Supplement 1, 1998
著者/制作者
UCS(Ultra Clean Society) Institute of Basic Semiconductor Technology Development
/
UCS(Ultra Clean Society) Institute of Basic Semiconductor Technology Development
年代
1998/99/99
出版地
仙台市
出版国
日本国
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
地理情報
日本国,宮城県,仙台市
本文の言語
英語
備考
- [内容]
- [種別]刊行物
- [タイトルの記述レベル]書名
- [現物の利用制限]全部公開
- [現物利用申請書類]
画像有無 / 色
- 無
所在
史料館閲覧室
請求記号
工学／学会
部局管理ID
SER2016-07445
レコードID
12030000007432
学内刊行物
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