12030000007432
New Era of Semiconductor Manufacturing (Ⅲ) Breakthrough for Everlasting Prosperity of Semiconductor Industry--Proposal of very compact manufacturing system for 300 mm wafer from Tohoku University ULTRA CLEAN TECHNOLOGY Vol.10 Supplement 1, 1998
製作者
UCS(Ultra Clean Society) Institute of Basic Semiconductor Technology Development
UCS(Ultra Clean Society) Institute of Basic Semiconductor Technology Development
年代
1998/99/99
出版地
仙台市
出版国
日本国
印刷・書写の別
印刷資料
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
本文の言語
英語
解説
備考
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]簡易利用申請書(Excel)｜http://www2.archives.tohoku.ac.jp/yoshiki/tokuteirekisi-kaniriyo.xls
画像有無
無
所在
史料館閲覧室
請求記号
工学／学会
部局のレコードID
SER2016-07445
所蔵部局名
史料館
レコードID
12030000007432
学内刊行物
東北大学で作成され刊行された資料です。
関連資料
GCOE Institute of Fluid Science TOHOKU UNIVERSITY World Center of Education and Research for Trans-disciplinary Flow Dynamics Global COE Program, Tohoku University
学内刊行物 学内刊行物»- 部局
- 流体科学研究所（速研含む）
- 区分
- COE/GCOE
-
High Field Laboratory for Superconducting Materials RIISOM, Tohoku University 1984
学内刊行物 学内刊行物»- 部局
- 金属材料研究所
- 区分
- 附属施設・センター