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スーパークリーンルームの利用のてびき

Author/Creator
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設加工開発部
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツカコウカイハツブ
Year
1989/6/24
Place of Publication
仙台市
Country of publication
日本国
Printed/ Manuscript
印刷資料
Material Type
雑誌
Form
紙／冊子
Language
日本語
Description
Notes
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]
Images
無
Location
史料館閲覧室
Call Number
通研/0036/0001
Record ID of the Department
SER2016-09628
Department
史料館
Collection
学内刊行物
Related Country
日本国
Related Country
宮城県
Related City/District/Area
仙台市
Record ID
12030000009615
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