東北大学電気通信研究所 超微細電子回路実験施設研究報告 第3号 スーパークリーンルーム技術特集
タイトルヨミ
トウツウケン チョウビサイデンシカイロジッケンシセツケンキュウホウコク ダイ3ゴウ スーパークリーンルームギジュツトクシュウ
製作者
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツ
年代
1990/4/99
出版地
仙台市
出版国
日本国
印刷・書写の別
印刷資料
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
本文の言語
日本語
解説
備考
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]簡易利用申請書(Excel)｜http://www2.archives.tohoku.ac.jp/yoshiki/tokuteirekisi-kaniriyo.xls
画像有無
無
請求記号
通研/0041/0003
所蔵部局名
史料館
コレクション名
学内刊行物
学内刊行物
レコードID
12030000009720
管理用項目
資料所蔵者
東北大学史料館