12030000009615
スーパークリーンルームの利用のてびき
製作者
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設加工開発部
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツカコウカイハツブ
年代
1989/6/24
出版地
仙台市
出版国
日本国
印刷・書写の別
印刷資料
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
本文の言語
日本語
解説
備考
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]
画像有無
無
所在
史料館閲覧室
請求記号
通研/0036/0001
部局のレコードID
SER2016-09628
所蔵部局名
史料館
分類
レコードID
12030000009615
学内刊行物
東北大学で作成され刊行された資料です。
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