12030000009720
東北大学電気通信研究所 超微細電子回路実験施設研究報告 第3号 スーパークリーンルーム技術特集
製作者
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツ
年代
1990/4/99
出版地
仙台市
出版国
日本国
印刷・書写の別
印刷資料
資料種別
雑誌
形態
紙／冊子
本文の言語
日本語
解説
備考
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]所蔵資料閲覧申込書｜ippan-etsuran.docx（https://view.officeapps.live.com/op/view.aspx?src=https%3A%2F%2Fwww.archives.tohoku.ac.jp%2Farch%2Fwp-content%2Fuploads%2F2024%2F02%2Fippan-etsuran.docx&wdOrigin=BROWSELINK）
画像有無
無
所在
A
請求記号
通研/0041/0003
部局のレコードID
SER2016-09733
所蔵部局名
史料館
レコードID
12030000009720
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