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東北大学電気通信研究所 超微細電子回路実験施設研究報告 第2号 スーパークリーンルーム技術特集

Title(Kana)
トウツウケン チョウビサイデンシカイロジッケンシセツケンキュウホウコク ダイ2ゴウ スーパークリーンルームギジュツトクシュウ
Author/Creator
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツ
Year
1989/4/99
Place of Publication
仙台市
Country of publication
日本国
Printed/ Manuscript
印刷資料
Material Type
雑誌
Form
紙/冊子
Language
日本語
Description
Notes
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]簡易利用申請書(Excel)|http://www2.archives.tohoku.ac.jp/yoshiki/tokuteirekisi-kaniriyo.xls
Images
Call Number
通研/0041/0002
Department
史料館
Collection
学内刊行物
学内刊行物
Record ID
12030000009719

管理用項目

Holder of Material
東北大学史料館