東北大学電気通信研究所 超微細電子回路実験施設研究報告 第1号 スーパークリーンルーム技術特集
Title(Kana)
トウツウケン チョウビサイデンシカイロジッケンシセツケンキュウホウコク ダイ1ゴウ スーパークリーンルームギジュツトクシュウ
Author/Creator
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツ
Year
1988/4/99
Place of Publication
仙台市
Country of publication
日本国
Printed/ Manuscript
印刷資料
Material Type
雑誌
Form
紙／冊子
Language
日本語
Description
Notes
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]簡易利用申請書(Excel)｜http://www2.archives.tohoku.ac.jp/yoshiki/tokuteirekisi-kaniriyo.xls
Images
無
Call Number
通研/0041/0001
Department
史料館
Collection
学内刊行物
学内刊行物
Record ID
12030000009718
管理用項目
Holder of Material
東北大学史料館