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東北大学電気通信研究所 超微細電子回路実験施設研究報告　第3号　スーパークリーンルーム技術特集

Author/Creator
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設
トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツ
Year
1990/4/99
Place of Publication
仙台市
Country of publication
日本国
Printed/ Manuscript
印刷資料
Material Type
雑誌
Form
紙／冊子
Language
日本語
Description
Notes
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]所蔵資料閲覧申込書｜ippan-etsuran.docx（https://view.officeapps.live.com/op/view.aspx?src=https%3A%2F%2Fwww.archives.tohoku.ac.jp%2Farch%2Fwp-content%2Fuploads%2F2024%2F02%2Fippan-etsuran.docx&wdOrigin=BROWSELINK）
Images
無
Location
A
Call Number
通研/0041/0003
Record ID of the Department
SER2016-09733
Department
史料館
Collection
学内刊行物
学内刊行物
Subcollection
Related Country
日本国
Related Prefecture
宮城県
Related City/District/Area
仙台市
Record ID
12030000009720
University Publications
These are some materials prepared and published by Tohoku University.

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