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12030000009719

東北大学電気通信研究所 超微細電子回路実験施設研究報告　第2号　スーパークリーンルーム技術特集

Author/Creator
東北大学電気通信研究所附属超微細電子回路実験施設
/ トウツウケンフゾクチョウビサイデンシカイロジッケンシセツ
Year
1989/4/99
Place of Publication
仙台市
Country of publication
日本国
Material Type
雑誌
Form
紙／冊子
Geographic
JAPAN,Miyagi,仙台市
Language
日本語
Notes
  • [内容]
  • [種別]刊行物
  • [タイトルの記述レベル]書名
  • [現物の利用制限]全部公開
  • [現物利用申請書類]所蔵資料閲覧申込書｜ippan-etsuran.docx（https://view.officeapps.live.com/op/view.aspx?src=https%3A%2F%2Fwww.archives.tohoku.ac.jp%2Farch%2Fwp-content%2Fuploads%2F2024%2F02%2Fippan-etsuran.docx&wdOrigin=BROWSELINK）
Images
  • 無
Collection
Subcollection
Classification
Location
A
Call Number
通研/0041/0002
Record ID of the Department
SER2016-09732
Record ID
12030000009719
University Publications
These are some materials prepared and published by Tohoku University.

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