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問合せ
12030000007371
FACULTY OF ENGINEERING TOHOKU UNIVERSITY 1991-1992
制作者
東北大学工学部
/ トウコウガクブ
出版地
仙台市
出版国
日本国
資料種別
雑誌
形態
紙/冊子
地理情報
日本国,宮城県,仙台市
本文の言語
英語
備考
[内容]
[種別]刊行物
[タイトルの記述レベル]書名
[現物の利用制限]全部公開
[現物利用申請書類]
画像有無 / 色
無
コレクション
学内刊行物
分類
アルファベット
FACULTY OF ENGINEERING TOHOKU UNIVERSITY GENERAL INFORMATION
所在
史料館閲覧室
請求記号
工/0008/0003
部局管理ID
SER2016-07384
レコードID
12030000007371
学内刊行物
東北大学で作成され刊行された資料です。
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部局
流体科学研究所(速研含む)
»
区分
COE/GCOE
Graduate School of Life Sciences, Tohoku University 2012-2013
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部局
生命科学研究科
»
区分
総務・企画
New Era of Semiconductor Manufacturing (Ⅲ) Breakthrough for Everlasting Prosperity of Semiconductor Industry--Proposal of very compact manufacturing system for 300 mm wafer from Tohoku University ULTRA CLEAN TECHNOLOGY Vol.10 Supplement 1, 1998
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